3D-Volumenstrukturierung

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT

Leistungsangebot 3D-Volumenstrukturierung

Mikrostrukturierung

  • Selektives laserinduziertes Ätzen von 3D-Bauteilen aus Glas und Saphir
  • 3D-Mikrostrukturen mittels Multiphotonenpolymerisation
  • Mikrokanäle und Mikroschnitte in transparenten Materialien
  • Nanostrukturen durch laserinduzierte Nanooptik

Modifikationen im Volumen

  • Rissfreie Innenmarkierungen
  • Farbige Innenmarkierungen durch Interferenz an Gittern
  • Wellenleiter in Gläsern und Kristallen für Strahlformung und Wellenleiterlaser

Systemtechnik für die Strukturierung im Volumen

  • Mikroscanner für die Bearbeitung im Volumen mit Mikrometerfokus

Ultrakurzpulsbearbeitung

  • Laserstrahlabtragen und Laserstrahlbohren

Publikationen

Gottmann, J.
Selektives Laserätzen von Glas und Saphir
Mikroproduktion 2010, Nr 6, 10-13
2010

Hörstmann-Jungemann, M., Gottmann, J., Keggenhoff, M.
3D-Microstructuring of sapphire using fs-laser irradiation and selective etching
J. Laser Micro/Nanoeng. 5, 145-149
2010

J. Gottmann, D. Wortmann, M. Hörstmann-Jungemann
Fabrication of sub-wavelength surface ripples and in-volume nanostructures by fs-laser induced selective etching
Appl. Surf. Sci.
255, 5641-5646, 2009

J. Gottmann, M. Hörstmann-Jungemann, M. Hermans, D. Beckmann
High speed and high precision Fs-laser writing using a scanner with large numerical aperture
J. Laser Micro/Nanoeng.
4, Nr 3, 192-196, 2009

D. Esser, D. Wortmann, J. Gottmann
In-volume waveguides by fs-laser direct writing in rare-earth-doped fluoride glass and phosphate glass
Proc. SPIE
7205, 7205101-7205109, 2009

M. Waldmann, R. Caspary, D. Wortmann, J. Gottmann, W. Kowalsky
Erbium-doped fluoride glass waveguides
Electron. Lett.
44, Nr 20, 1193-1194, 2008

D. Wortmann, J. Gottmann
Fs-Laser structuring of ridge waveguides
Appl. Phys. A
93, 197-201, 2008

R. Poprawe, A. Gillner, D. Hoffmann, J. Gottmann, W. Wawers, W. Schulz
High speed high precision ablation from ms to fs
Proc. SPIE
7005, 12 S., 2008

J. Gottmann, D. Wortmann, N. Brandt
Highspeed manufacturing of periodical surface and in-volume nanostructures by fs-laser direct writing
Proc. SPIE
6879, 12 S. 2008

M. Hörstmann-Jungemann, J. Gottmann ,D. Wortmann,
Time resolved measurement of the dielectric function during direct fs-laser writing of SiO2 and sapphire
Proc. LPM2008 - 9th Int. Symposium on Laser Precision Microfabrication
5 S., 2008

 

D. Wortmann, J. Gottmann, N. Brandt, H. Horn-Solle
Micro- and nanostructures inside sapphire by fs-laser irradiation and selective etching
Opt. Expr.
16, Nr 3, 1517-1522, 2008

J. Gottmann, L. Moiseev, D. Wortmann, I. Vasilief, L. Starovoytova, D. Ganser, R. Wagner
Laser deposition and laser structuring of laser active planar waveguides of Er:ZBLAN, Nd:YAG and Nd:GGG for integrated waveguide lasers
Proc. SPIE
6459, 10 S., 2007

J. Gottmann, D. Wortmann, I. Vasilief, L. Moiseev, D. Ganser
Manufacturing of Nd:Gd3Ga5O12 ridge waveguide lasers by pulsed laser deposition and ultrafast laser micromachining
Appl. Surf. Sci.
254, 1105-1110, 2007

D. Wortmann, M. Ramme, J. Gottmann
Refractive index modification using fs-laser double pulses
Opt. Expr.
15, 10149-10153, 2007

R. Wagner, J. Gottmann
Sub-wavelength ripple formation on various materials induced by tightly focused femtosecond laser radiation
8th International Conference on Laser Ablation
J. Phys.: Conference Series
59, 333-337, 2007

D. Wortmann, L. Moiseev, I. Vasilief, D. Ganser,L. Starovoytova, J. Gottmann
Waveguide lasers of Er:ZBLAN and Nd:GGG by pulsed laser deposition and fs-laser microstructuring
Proc. 4th Int. WLT-Conf. on Lasers in Manufacturing 2007, Munich, June
821-826, 2007

R. Wagner, J. Gottmann, A. Horn, E. W. Kreutz
Subwavelength ripple formation induced by tightly focused femtosecond laser radiation
Applied Surface Science 252
8576-8579, 2006