Dünnschichtverfahren

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT

Leistungsangebot Dünnschichtverfahren

Laserbehandlung dünner Schichten

  • Funktionale Schichten für Optik und Elektronik
  • Verschleiß- und Korrosionsschutz von Werkzeugen und Bauteilen
  • Lasernachbehandlung nanopartikulärer Schichten
  • Kombinationsverfahren aus nasschemischen Beschichtungsverfahren (z. B. Tauchbeschichten, Rotationsbeschichten, Ink-Jet) und Lasernachbehandlung
  • Dünne Schichten auf temperaturempfindlichen Substraten

Erzeugung von mikroskaligen Strukturen

  • Leiterbahnen auf Glas und Silizium
  • Elektrische Kontakte auf Basis nanopartikulärer Werkstoffe
  • Laserbasierte, lokale Abscheidung von Metallen aus Elektrolyten

Publikationen

Ganser, D., Gottmann, J., Mackens, U., Weichmann, U.
Pulsed laser deposition of fluoride glass thin films
Appl. Surface Sci. 257, 954-959
2010

Hawelka, D., Stollenwerk, J., Pirch, N., Wissenbach, K.
Laser based production of thin wear protection films
ICALEO 2010. 29th International Congress on Applications of Lasers & Electro Optics, Anaheim/Ca., September 26-30, 2010. Paper 1709 (6 S.)
2010

D. Trusheim, M. Schulz-Ruhtenberg, J. L. Hernandez, A. Uruena, S. Krantz, C. Morilla, T. Sarnet, A. Olowinsky
Damage-less laser ablation of thin films for silicon solar cells
Proc. of the 5th Int. WLT-Conf. on Lasers in Manufacturing 2009, Munich, June 15-18, 2009. Ed. by A. Ostendorf [u.a.]
Stuttgart: AT Fachverl. 2009
5 S.

C. Vedder, J. Stollenwerk, N. Pirch, K. Wissenbach
Production technology for transparent and conducting nano layers
Proc. of the 27th Int. Conf. on Applications of Lasers and Electro-Optics 2008, ICALEO, Temecula/CA. October 20th-23rd, Paper N303
5 S., 2008