Mikrostrukturierung

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT

Leistungsangebot Mikrostrukturierung

Laserstrahlabtragen

  • Herstellung von Werkzeugen und Werkzeugeinsätzen
  • Herstellung von funktionalen Oberflächen
  • Selektiver Abtrag von dünnen Schichten
  • Strukturgrößen < 10 μm bei Oberflächengenauigkeiten < 200 nm

Laserstrahlfeinschneiden

  • Hochgeschwindigkeits-Feinschneiden mit Schnittbreiten < 20 µm
  • 3D-Anwendungen
  • Remote-Feinschneiden

Nanostrukturierung

  • Herstellung von periodischen Oberflächenstrukturen durch Mehrstrahl-Interferenz
  • Strukturgrößen im Bereich von 100 nm - 500 nm

Laserstrahlbohren

  • Präzisionsbohren mit Ø > 30 μm bei Bohrtiefen bis zu 2 mm
  • Hochratebohren mit bis zu 5.000 Bohrungen/ s
  • Mikrobohren mit Bohrdurchmessern < 1 µm

Hybride Verfahren zur Mikrostrukturierung

  • Verwendung einer prozessbegleitenden selektiven Laserheizung zur Veränderung der Materialeigenschaften
  • Replikative Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen durch laserunterstütztes Heißprägen

Publikationen

Gillner, A.
Laser micro-structuring
In: YI Qin: Micromanufacturing Engineering and Technology, Norwich, N.Y.: W. Andrew Publ. 2010. pp. 59-67. ISBN 978-0-8155-1545-6

Huang, J., Wu, S., Beckemper, Gillner, A.
All-optical fabrications of ellipsoidal caps on azobenzene functional polymers
Opt. Lett. 35, Nr 16. 2711-2713
2010

Schaefer, M., Jacobs, P., Bauer, D., Moll, D., Gillner, A.
Investigation and development of a molding process for the production of micro-hairs
Int. J. Adv. Manuf. Technol. 51, 935-944
2010

Schulz-Ruhtenberg, M., Haeberle, A., Russell, R., Hernández, J. L., Krantz, S.
Quest for the ideal laser for an industrial laser doping process for crystalline solar cells
LPM 2010 - 11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Stuttgart, 07. - 10. Juni 2010. (5 S.)
2010

M. Schulz-Ruhtenberg, J. L. Hernandez, V. Prajapati, R. Bleidiessel, C. Morilla, Y. Larmanda, V. Vervisch, T. Sarnet, A. Olowinsky
Direct laser doping for high-efficiency solar cells
ICALEO 2009, 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics, November 2-5, 2009
4 S.

A. Temmler, E. Willenborg, N. Pirch, K. Wissenbach
Structuring by remelting
Proc. of the 5th Int. WLT Conf. on Lasers in Manufacturing 2009, Munich, June 15th - 18th, 2009. Ed. by A. Ostendorf [u.a.]
Stuttgart: AT-Fachverlag 2009
pp. 403-407

R. Poprawe, A. Gillner, D. Hoffmann, J. Gottmann, W. Wawers, W. Schulz
High speed high precision ablation from ms to fs
Proc. SPIE
7005, 12 S., 2008

A. Gillner
Laser micro processing
Laser Technik J.
5, 27-30, 2008

D. Wortmann, J. Gottmann, N. Brandt, H. Horn-Solle
Micro- and nanostructures inside sapphire by fs-laser irradiation and selective etching
Opt. Expr.
16, Nr 3, 1517-1522, 2008