Nanostrukturierung
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
- Leistungen
- Projektergebnisse
- Prospekte
- Publikationen
Leistungsangebot Nanostrukturierung
- Herstellung von deterministischen periodischen Oberflächenstrukturen durch Mehrstrahl-Interferenz
- Herstellung von statistischen periodischen Oberflächenstrukturen mittels laserinduzierten Oberflächeneffekten (LIPSS, nano ripples)
- Strukturgrößen im Bereich von 100 nm - 500 nm
Projektergebnisse
Prospekte
Publikationen
Huang, J., Beckemper, S., Gillner, A., Wang, K.
Tunable surface texturing by polarization-controlled three-beam interference
J. Micromech. Microeng. 20, 95004 (6 S.)
2010
J. Gottmann, D. Wortmann, N. Brandt
Highspeed manufacturing of periodical surface and in-volume nanostructures by fs-laser direct writing
Proc. SPIE
6879, 12 S. 2008
D. Wortmann, J. Gottmann, N. Brandt, H. Horn-Solle
Micro- and nanostructures inside sapphire by fs-laser irradiation and selective etching
Opt. Expr.
16, Nr 3, 1517-1522, 2008




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