Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILTDE 102020200237 Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Mehrschicht-Sensors und/oder Aktuators
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DE 102015208181 Anordnung und Verfahren zur Reflektometrie
DE 102014006151 Verfahren zur Messung des Rundlaufs einer Werkzeugmaschine sowie für die Durchführung des Verfahrens ausgebildete Werkzeugmaschine
DE 102014001666 Verfahren zur Homogenisierung der Oberflächentopologie bei der Trocknung einer Beschichtung
DE 102013001940 Strahlungsquellen im Extremen Ultraviolett und weichen Röntgenbereich durch Anregung von Pinchplasmen mit Elektronenstrahlen
DE 102007028789 Verfahren zum Fügen von Hybridbauteilen