Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
In der Halbleitertechnik übernehmen Laser eine Vielzahl entscheidender Aufgaben: Von der Strukturierung und Bearbeitung von Halbleitermaterialien wie Silizium und Galliumarsenid über die Abtragung und Deposition von Dünnfilmschichten bis hin zur Dotierung und Aktivierung von Materialien spielen Laser eine zentrale Rolle. Darüber hinaus werden sie für die Bearbeitung von Wafern sowie für thermische Prozesse wie das gezielte Aufschmelzen von Materialien eingesetzt. Diese vielseitigen Anwendungen ermöglichen es, Halbleiterbauelemente mit hoher Präzision und Qualität herzustellen, und tragen somit maßgeblich zur Entwicklung moderner elektronischer Geräte und Technologien bei.