Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILTSave the Date!
Veranstaltungsdetails
Veranstaltungsort
Online
Datum
23. Oktober 2021 - 28. Oktober 2021
Sprache
Englisch
Unsere Vorträge
Hinweis: Alle Vorträge werden auf Englisch gehalten. Die Zeitzone der Veranstaltung ist Central Daylight Time (GMT-5)
Mittwoch, 27. Oktober 2021 – Area: Metrology Sources
9.30 Uhr – 9.45 Uhr (CDT) , Session #5
Irradiation systems for accelerated testing of EUVL components (Paper #S64)
Dr. Jochen Vieker, Fraunhofer ILT, Aachen (D)
Donnerstag, 28. Oktober 2021 – Area: Applications Lasers, HHG
10.20 Uhr – 10.35 Uhr (CDT), Session #8
Compact EUV spectrometry tool for thin film and nanograting characterization (Paper #S52)
Dr. Sascha Brose, RWTH Aachen University – TOS, Aachen (D)